به گزارش خبرنگار مهر، دستگاه "زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکون به صورت خشک و در محیط پلاسما" به منظور ایجاد ساختارهای مطلوب در سیستم های الکترومکانیکی مورد مصرف در زمینهMEMS تولید شد. این دستگاه برای ایجاد ساختار و طرح بر روی فلزات و سرامیک با ابعاد میکرومتری و نانومتری مورد استفاده قرار می گیرد.
دستگاه زدایش یونی تنها در کشور آلمان با قیمت بیش از 100 هزار دلار تولید می شود که نمونه بومی آن با قیمت کمتر از یک هشتم قیمت نمونه آلمانی تهیه شده و در مقایسه با آن سازگاری بیشتری با محیط زیست دارد.
دکتر شمس الدین مهاجر زاده- مجری طرح و عضو هیئت علمی دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران با تاکید بر اینکه برای ایجاد ساختارهایی با ابعاد نزدیک به میکرومتر و چند نانومتر نیاز به ابزارها و ماشینهای خاصی است که بسیار گران قیمت هستند، افزود: دستگاه ارائه شده یک ماشین زدایش عمودی و عمیق و بسیار دقیق پلاسمایی است که با استفاده از گازهای مختلف مانند هیدروژن و اکسیژن می توان به ساختارهایی درحد نانو متر و میکرومتر ایجاد کرد.
مهاجر زاده با اشاره به عملکرد این دستگاه خاطر نشان کرد: پس از قرار دادن نمونه در این دستگاه و ایجاد خلاء، گازها به صورت پشت سرهم وارد شده و مقدار آنها توسط قطعات دقیق کنترل می شود.
وی با بیان اینکه معمولا بستر نمونه استفاده شده در دستگاه از جنس سیلیکان (سیلسیوم) است، ادامه داد: با بهره گیری از این دستگاه علاوه بر لایه برداری عمودی، امکان لایه برداری سه بعدی و زیر زدایش نیز وجود دارد. دستگاه قابلیت تولید انبوه دارد و می تواند به عنوان یکی از مهمترین دستگاهها در حوزه ساخت MEMS مطرح شود.
مجری طرح زیست سازگاری را از مزایای این دستگاه نام برد و یادآور شد: عدم استفاده از نوعی پلیمرهای خاص که در نوع آلمانی آن مورد استفاده قرار گرفته است، سبب شد تا این سامانه به عنوان یک سامانه سازگار با محیط زیست نیز مطرح شود.
عضو هیئت علمی دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران با اشاره به کاربردهای این دستگاه اضافه کرد: دستگاه زدایش عمیق یونی بیشترین کاربرد را در ادوات و سامانه های ریزماشین کاری الکترومکانیکی و صنایع الکترونیکی، خودرو سازی و به ویژه در ساخت سنسور ایربگ و سنسور انژکتور خودرو و شتاب سنج ها دارد.
با توجه به نبود صنعت ساخت این سنسورها در کشور تنها مراکز تحقیقاتی دانشگاهی متقاضی آن هستند از این رو آزمایشگاه 4 دانشگاه کشور مجهز به این دستگاه می شوند.
در حال حاضر آزمایشگاه نیمه هادی دانشگاه صنعتی امیرکبیر یک نمونه از این دستگاه را برای فعالیت های تحقیقاتی دانشگاهی مانند ساخت میکرو و نانو ساختارهای مورد بررسی در فناوری نانو الکترونیک مورد استفاده قرار داده است.
علاوه بر این به زودی دانشکده علوم و فنون دانشگاه تهران و دانشگاه های شیراز و بابل نیز به این سامانه مجهز می شوند.
نظر شما