معرفی اولین عضو سازنده قطعات نانوالکترونیک در شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو

به گزارش خبرگزاری مهر، این مجموعه آزمایشگاهی پس از گذراندن دوره آزمایشی شش ماهه به همراه سایر اعضای شبکه، ارزیابی شده و در صورت کسب امتیاز لازم عضویت آن قطعی خواهد شد.

شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو در زمینه هایی مانند تعمیر و نگهداری، کالیبراسیون، تامین قطعات و نیز ارتقا تجهیزات آزمایشگاهی، کسب استاندارد بین‌المللی ISO/IEC17025 و همچنین خرید تجهیزات جدید آزمایشگاهی مرتبط با فناوری نانو از آزمایشگاههای عضو حمایت می کند.

مجتمع تحقیقاتی نانوالکترونیک و لایه نازک در سال 1373 با نام "لایه نازک" تاسیس شد و در سال 1380 به دلیل گسترش فعالیتهای گروه در زمینه نانوالکترونیک در لایه گذاری و لایه نشانی، ساخت و بازسازی دستگاهها، آزمایشگاه به مجتمع تحقیقاتی نانوالکترونیک و لایه نازک تغییر نام داد.

این مجموعه شامل دستگاههایی چون میکروسکوپ SEM و STM، LPCVD (رسوب گذاری بخار شیمیایی در فشار پایین)، PET(سیستم لایه برداری عمودی و عمیق پلاستیک)، کوره های نفوذ ناخالصی و اکسیداسیون خشک و تر و PECVD (رسوب گذاری بخار شیمیایی در محیط پلاسما) است.